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自動(dòng)光譜橢偏儀SENDURO®所有的全自動(dòng)光譜橢偏免除了用戶根據(jù)高度和傾斜度手動(dòng)地對(duì)準(zhǔn)樣品的麻煩，這對(duì)于高精度和可重復(fù)的光譜橢偏是必要的。
紅外光譜橢偏儀SENDIRA利用紅外光譜中分子振動(dòng)模的吸收帶，可以分析薄膜的組成。此外，載流子濃度可以用傅立葉紅外光譜儀FTIR測(cè)量。
低成本高效益的光譜橢偏儀SENpro覆蓋寬的光譜范圍，從190 nm(深紫外)到3500 nm(近紅外)。傅立葉紅外光譜儀FTIR提供了高光譜分辨率用以分析厚度高達(dá)200μm的厚膜。
橢偏反射儀 性能優(yōu)異的多角度手動(dòng)角度計(jì)和角度精度*的激光橢偏儀允許測(cè)量單層薄膜和層疊膜的折射率、消光系數(shù)和膜厚。
光譜橢偏儀 我們的自動(dòng)掃描的選項(xiàng)具有預(yù)定義或用戶定義的模式、廣泛的統(tǒng)計(jì)以及數(shù)據(jù)的圖形顯示，如2D顏色、灰度、輪廓、+/-偏離平均值和3D繪圖。
光譜橢偏儀 SENDURO® 所有的全自動(dòng)光譜橢偏免除了用戶根據(jù)高度和傾斜度手動(dòng)地對(duì)準(zhǔn)樣品的麻煩，這對(duì)于高精度和可重復(fù)的光譜橢偏是必要的。該的自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)傳感器大大減少了操作誤差，適用于透明和反射樣品，即使在彎曲的樣品上也可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)掃描。
光譜橢偏儀 SENDIRA用于測(cè)量薄膜厚度，折射率，消光系數(shù)以及體材料，單層和多層堆疊膜的相關(guān)特性。特別是覆蓋層下面的層在可見(jiàn)范圍內(nèi)是不透明的，現(xiàn)在也可以進(jìn)行測(cè)量。同時(shí)可以分析材料的組成和大分子基團(tuán)和分子鏈的走向。
光譜橢偏儀 SENpro具有操作簡(jiǎn)單，測(cè)量速度快，能對(duì)不同入射角的橢偏測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行組合分析等特點(diǎn)。光譜范圍為370到1050 nm。SENpro的光譜范圍與精密的SpectraRay/4軟件相結(jié)合，可以輕易地確定單層膜和復(fù)合層疊膜的厚度和折射率。
