在微機(jī)電系統(tǒng)、功率半導(dǎo)體、生物芯片等領(lǐng)域，硅材料的精準(zhǔn)刻蝕是實(shí)現(xiàn)器件微結(jié)構(gòu)的核心工藝。從MEMS傳感器的微型腔體到功率器件的深溝槽隔離結(jié)構(gòu)，均需在硅基材料上實(shí)現(xiàn)深寬比高、側(cè)壁垂直度好的刻蝕效果。深硅刻蝕技術(shù)成為硅基器件制造的關(guān)鍵手術(shù)刀，為各類高性能器件的研發(fā)與量產(chǎn)提供技術(shù)保障。

　　深硅刻蝕的首要亮點(diǎn)是超高深寬比與精準(zhǔn)輪廓控制。采用電感耦合等離子體刻蝕或反應(yīng)離子刻蝕等先進(jìn)技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)深寬比大于50:1的硅刻蝕，刻蝕深度最高可達(dá)500μm，滿足MEMS器件的深腔體需求；通過(guò)優(yōu)化刻蝕氣體配比，能精準(zhǔn)控制刻蝕側(cè)壁垂直度，垂直度誤差小于0.5°，避免側(cè)壁傾斜導(dǎo)致的器件功能失效。例如在MEMS壓力傳感器制造中，深硅刻蝕可在硅片上刻蝕出厚度僅幾微米的敏感膜與深度達(dá)數(shù)百微米的背腔，確保傳感器具備高靈敏度與穩(wěn)定性，同時(shí)保障批量生產(chǎn)時(shí)的一致性。
 

　　其次，高刻蝕速率與低損傷特性兼顧效率與質(zhì)量。設(shè)備搭載高功率等離子體源，刻蝕速率可達(dá)1-5μm/min，較傳統(tǒng)濕法刻蝕效率提升10倍以上，大幅縮短器件制造周期；采用先進(jìn)的等離子體控制技術(shù)，減少刻蝕過(guò)程中對(duì)硅基材料的離子轟擊損傷，刻蝕后硅表面粗糙度小于5nm，避免損傷層影響器件的電學(xué)或機(jī)械性能。在功率半導(dǎo)體器件制造中，深硅刻蝕可快速形成深溝槽隔離結(jié)構(gòu)，隔離電壓可達(dá)數(shù)千伏，同時(shí)低損傷特性確保器件的長(zhǎng)期可靠性，提升功率器件的使用壽命。

　　在適配性與工藝兼容性上，深硅刻蝕支持多場(chǎng)景定制化方案。針對(duì)不同尺寸的硅片，可定制對(duì)應(yīng)的刻蝕腔體與夾持系統(tǒng)，確保刻蝕均勻性；面向生物芯片的微流控通道刻蝕，開(kāi)發(fā)專用的精細(xì)刻蝕模式，實(shí)現(xiàn)寬度僅幾十微米的微通道刻蝕，滿足生物樣本的精準(zhǔn)傳輸需求；此外，設(shè)備兼容多種光刻膠與硬掩膜，可根據(jù)器件工藝需求選擇合適的掩膜材料，實(shí)現(xiàn)復(fù)雜圖形的精準(zhǔn)轉(zhuǎn)移，助力研發(fā)人員實(shí)現(xiàn)多樣化的器件設(shè)計(jì)。

　　從MEMS器件的微型化創(chuàng)新到功率半導(dǎo)體的高性能突破，再到生物芯片的功能拓展，深硅刻蝕以“深、精、快”為核心，推動(dòng)硅基器件向更高性能、更復(fù)雜結(jié)構(gòu)方向發(fā)展。選擇專業(yè)深硅刻蝕解決方案，不僅是保障器件制造質(zhì)量的選擇，更是助力企業(yè)在器件領(lǐng)域突破技術(shù)瓶頸、提升核心競(jìng)爭(zhēng)力的關(guān)鍵一環(huán)，為相關(guān)行業(yè)的技術(shù)升級(jí)與產(chǎn)品創(chuàng)新開(kāi)辟新路徑。